上海FOSB清洗机按需定制

江苏芯梦/JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。江苏芯梦/JSXM，成立于2019年8月，位于苏州吴中经济开发区，致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。

江苏芯梦成立三年来高速发展，现有员工人数近300人，其中40%为技术研发人员，近3年营收复合增长率超100%。江苏芯梦始终坚持创新，不断攀登半导体湿法装备技术高峰，自主研发的国内首台全自动ENEPIG化学镀设备目前市场占有率国内;自主研发的全自动FOUP清洗设备成功打破国外垄断。 芯梦设备具有多种智能功能，助你轻松应对各种挑战！上海FOSB清洗机按需定制

对于晶圆加工的各个环节而言，清洗工艺都是必不可少的基本工序，随着芯片制造工艺先进程度的持续提升，对晶圆表面污染物的控制要求也在不断提高，清洗工序也不断向精细化发展，而对清洗设备的需求也在相应增加。

当前，国际制造产业的竞争日趋激烈，能否在半导体设备产业上赶超国外，关系着中国信息技术产业的前途。未来，首年科技将继续肩负国产半导体设备崛起的使命，不断推陈出新，加速研发新的清洗产品，满足不同市场需求。与此同时，首年科技也将在晶圆载具、铁环、光罩传输中加大投入，生产更具竞争优势的设备，助力中国芯片行业做大做强。 海南全自动花篮清洗机江苏芯梦，值得你的信赖！

FOUP清洗机是半导体制造行业中一种关键设备，专门用于清洗和处理FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）。FOUP是一种封闭式容器，用于存放和保护晶圆。FOUP清洗机通过自动化的清洗过程，确保FOUP内外的高纯度和可靠性。FOUP清洗机具备多种功能，能够去除FOUP内的各种污染物，如油脂、有机物、化学物质残留和水分。它采用先进的清洗技术和工艺参数，如喷淋清洗、超声波清洗、高温处理等，以确保彻底去除污染物，并不会对FOUP造成损害。该设备具有高效性和自动化特点。它能够在短时间内完成清洗过程，提高生产效率。自动化控制系统确保清洗过程的精确执行，减少人为操作的误差和风险。同时，清洗机通常配备直观的用户界面和操作控制面板，使操作人员能够轻松控制和监测清洗过程。FOUP清洗机还注重安全性和可靠性。它采用高质量的材料和密封结构，确保清洗过程中不会对FOUP造成损害。安全控制系统和报警装置能够确保操作人员的安全。此外，清洗机通常具有数据记录和追溯功能，方便对清洗过程进行监控和分析。综上所述，FOUP清洗机是半导体制造领域中不可或缺的设备，通过高效、自动化的清洗过程，确保FOUP内外的高纯度和可靠性，为晶圆生产提供重要保障。

半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机

（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）

适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥

设备特点：

1、清洗对象：12寸FOUP

2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成

3、清洗能力：24只FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）

4、干进干出；

5、可与AMHS对接、可人工上料；

6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；

7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；

8、可预设多条Recipe,操作简洁；

9、选配SECS/GEM接口；

10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；

11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能12、设备外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm 江苏芯梦期待与您共同解决晶圆盒清洗问题！

FOUP是一种用于运输和储存半导体晶圆的载具，因此，FOUP内可能存在多种类型的污染物。以下是一些常见的FOUP内污染物的种类：

颗粒：颗粒是常见的FOUP内污染物之一。它们可以是空气中悬浮的固体颗粒，如灰尘、细粉、纤维等，也可以是由FOUP本身或制造过程中产生的颗粒，如塑料碎片、金属屑等。颗粒对半导体制造过程非常敏感。

油脂和有机物：FOUP内可能存在油脂和有机物的污染，这些污染物可以来自FOUP制造材料中的残留物、操作人员的接触、环境空气中的挥发物等。

水分：水分是另一个常见的FOUP内污染物。它可以来自环境湿度、冲洗过程中的残留水、操作人员的接触等。水分在半导体制造过程中可能引起氧化、腐蚀和电性能问题。

化学物质残留：FOUP内可能存在一些化学物质的残留，如清洗剂、腐蚀剂、溶剂等。这些残留物可能对晶圆表面和器件产生不良影响。

静电电荷：FOUP内的静电电荷也可能成为一种污染物，对晶圆和器件产生影响。静电电荷可能导致电性能问题、颗粒吸附以及静电放电等问题。 芯梦设备具有灵活的生产模式，满足你的个性化需求！海南全自动花篮清洗机

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FOUP清洗机广泛应用于半导体制造和相关领域，特别是在FOUP（Front Opening Unified Pod）的清洗和维护过程中。以下是FOUP清洗机的一些主要应用场景：半导体生产线：FOUP清洗机在半导体生产线中扮演着重要的角色。在半导体制造过程中，FOUP用于存储和运输关键组件，如晶圆或掩膜。由于这些组件对洁净度要求极高，因此FOUP需要定期进行清洗和维护，以确保其内部和外部表面的洁净度。FOUP清洗机能够高效、自动化地处理大批量FOUP，并确保其在生产线上的有效性和可用性。实验室和研发环境：在实验室和研发环境中，FOUP清洗机也常被使用。研究人员可能需要对实验样品进行清洗，以确保样品表面的干净和准备下一步实验。此外，FOUP清洗机还可用于研发新的清洗方法和工艺，并验证其效果和可行性。FOUP处理中心：FOUP处理中心是专门为FOUP清洗和维护而设立的设施。这些中心通常服务于多个半导体制造厂商或供应商，并承担大量FOUP的清洗任务。FOUP清洗机在FOUP处理中心中起着关键作用，能够高效地处理大量FOUP，并确保它们的洁净度和可用性。上海FOSB清洗机按需定制